Cách giảm ô nhiễm dầu trong máy bơm khuếch tán chân không-cao

1. Tính năng thiết kế và giải pháp phần cứng (Quan trọng nhất)

Lắp bẫy dầu kiểu vách ngăn hoặc ô-
Vách ngăn kiểu mê cung-giữa đầu ra của bơm khuếch tán và buồng chân không giúp chặn hơi dầu di chuyển trực tiếp vào buồng.

Sử dụng bẫy lạnh (giải pháp hiệu quả nhất)
Một bẫy lạnh đặt phía trên máy bơm sẽ ngưng tụ hơi dầu trước khi nó đến buồng. Việc làm mát có thể được cung cấp bằng nitơ lỏng, nước lạnh hoặc hệ thống làm lạnh. Đây là một trong những cách hiệu quả nhất để ngăn chặn dòng chảy ngược.

Chọn chất lỏng bơm khuếch tán áp suất-hơi{1}}thấp
Sử dụng các loại dầu gốc-silicone chất lượng{1}}cao như chất lỏng bơm khuếch tán Dow Corning DC‑704 hoặc chất lỏng bơm khuếch tán Dow Corning DC‑705. Chất lỏng có áp suất hơi thấp hơn làm giảm đáng kể nguy cơ ô nhiễm.

2. Thực hành vận hành tốt (Thường bị bỏ qua)

Thực hiện đúng trình tự khởi động và tắt máy
Luôn để bơm khuếch tán đạt đến nhiệt độ vận hành trước khi bắt đầu bơm hoàn toàn. Khi tắt máy, trước tiên hãy tắt bộ sưởi và để máy bơm nguội trước khi dừng máy bơm trước. Việc mất khả năng bơm đường trước đột ngột khi máy bơm đang nóng có thể gây ra hiện tượng chảy ngược dầu nghiêm trọng.

Không bao giờ thông hơi máy bơm khi còn nóng
Việc đưa không khí vào bơm khuếch tán nóng có thể nhanh chóng oxy hóa và làm suy giảm dầu bơm, tạo ra chất gây ô nhiễm và làm tăng nguy cơ nhiễm dầu.

Duy trì khả năng làm mát ổn định và đầy đủ
Lưu lượng nước làm mát thích hợp là điều cần thiết. Làm mát kém làm giảm hiệu suất ngưng tụ hơi và tăng khả năng hơi dầu di chuyển ngược dòng.

3. Bảo trì và chăm sóc định kỳ

Thay dầu bơm thường xuyên
Đừng đợi cho đến khi dầu trở nên sẫm màu hoặc nhớt. Dầu lão hóa có áp suất hơi cao hơn và dễ bị nhiễm bẩn và chảy ngược hơn.

Giữ sạch bên trong máy bơm
Định kỳ vệ sinh thân máy bơm, cụm vòi phun và các vách ngăn. Cặn và cặn dầu có thể được-cuốn lại vào dòng hơi.

Duy trì chân không tiền tuyến tốt
Nếu áp suất bơm trước quá cao, tia hơi sẽ trở nên không ổn định, làm tăng dòng chảy ngược của dầu.

4. Các biện pháp nâng cao dành cho ứng dụng-Siêu sạch

Lắp van cách ly chân không-cao
Một van giữa buồng và bơm khuếch tán cho phép hệ thống được cách ly hoàn toàn khi không sử dụng máy bơm, ngăn chặn bất kỳ sự di chuyển hơi dầu nào.

Sử dụng máy bơm{0}không dầu ở nơi độ sạch là rất quan trọng
Đối với các ứng dụng như xử lý chất bán dẫn hoặc quang học chính xác, nhiều hệ thống thay thế bơm khuếch tán bằng bơm turbo phân tử, chẳng hạn như loại do Pfeiffer Vacuum hoặc Edwards Vacuum sản xuất, để loại bỏ hoàn toàn ô nhiễm dầu.